零部件
先进封装自动化 复杂substrate管理 / 精密自动化
- 类型
- 半导体机器人/污染控制/实验室自动化
- 接口规格
- 复杂substrate管理 / 精密自动化(¥Custom)
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复杂substrate管理 / 精密自动化
样品处理 / 工作流程优化 / 分析流程自动化
晶圆传输机器人 / 真空环境 / 洁净精密
污染测量/分析/清洁/保护系统
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