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DUV 光刻机
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深紫外光刻系统 / 28nm-7nm 制程
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零部件
主体信息
深紫外光刻系统 / 28nm-7nm 制程
供应商信息
ASML
全球唯一 EUV 光刻机供应商;半导体光刻技术领导者;芯片制造核心设备